東海大學共同貴重儀器中心

熱場發射掃描電子顯微鏡詳細資料
簡稱	熱場發射掃描電子顯微鏡
編號，依儀器	A0012
中文名稱	熱場發射掃描電子顯微鏡
英文名稱	Field Emission Scanning Electron Microscope(JEOL JSM-6500F)
圖片
功能說明	二次電子影像（SEI）：高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構。背向散射電子影像(BEI)：元素對比影像觀察。
儀器服務項目
儀器購置日期	2002/12/1
儀器購置金額	0
儀器廠牌	JEOL
型號	JEOL JSM-6500F
儀器規格	1.電子源：冷陰極電子槍 2.操作電壓：0.5kV~30kV (100V step) 3.試片尺寸：15mm (diameter) x 10mm(thickness) 4.解析度：1.5nm (at 15kV) or 5nm (at 1kV) 5.放大倍率10倍~50萬倍（依試片本身而定） 6.二次電子解析度1.5nm(15kV)
主要配件，配件
注意事項	本機台對於檢驗樣品的限制如下： a.待測樣品應該具有適當、足夠的機械強度，以避免在進出電鏡、或在檢測的操作過程中，發生剝落、碎裂的狀況。 b.低熔點的材料如:銦,錫等,會產生相變及蒸鍍效應，請勿使用。 c.在電子束照射下會分解或釋出氣體之樣品，如有機物、高分子等，會影響真空、造成污染，請勿使用。 d.具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料，請勿使用。 e.未經正確處理或充分乾燥的粉末樣品，請勿使用。
儀器放置位置	基礎科學館308室