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熱場發射掃描電子顯微鏡 詳細資料
簡稱 熱場發射掃描電子顯微鏡 
編號,依儀器 A0008 
中文名稱 熱場發射掃描電子顯微鏡 
英文名稱 Field Emission Scanning Electron Microscope(JEOL JSM-6500F) 
圖片
功能說明 二次電子影像(SEI):高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構。
背向散射電子影像(BEI):元素對比影像觀察。
 
儀器服務項目  
儀器購置日期 2002/12/1 
儀器購置金額
儀器廠牌 JEOL 
型號 JEOL JSM-6500F 
儀器規格 1.電子源:冷陰極電子槍
2.操作電壓:0.5kV~30kV (100V step)
3.試片尺寸:15mm (diameter) x 10mm(thickness)
4.解析度:1.5nm (at 15kV) or 5nm (at 1kV)
5.放大倍率10倍~50萬倍(依試片本身而定)
6.二次電子解析度1.5nm(15kV)
 
主要配件,配件  
注意事項 本機台對於檢驗樣品的限制如下:
a.待測樣品應該具有適當、足夠的機械強度,以避免在進出電鏡、或在檢測的操作過程中,發生剝落、碎裂的狀況。
b.低熔點的材料如:銦,錫等,會產生相變及蒸鍍效應,請勿使用。
c.在電子束照射下會分解或釋出氣體之樣品,如有機物、高分子等,會影響真空、造成污染,請勿使用。
d.具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料,請勿使用。
e.未經正確處理或充分乾燥的粉末樣品,請勿使用。
 
儀器放置位置 基礎科學館308室 
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