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中文名稱

熱場發射掃描電子顯微鏡

英文名稱

Field Emission Scanning Electron Microscope

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儀器廠牌型號

JEOL JSM-6500F

購置年限

2002/12/1

功能

二次電子影像（SEI）：高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構。
背向散射電子影像(BEI)：元素對比影像觀察。

重要規格

1.電子源：冷陰極電子槍
2.操作電壓：0.5kV~30kV (100V step)
3.試片尺寸：15mm (diameter) x 10mm(thickness)
4.解析度：1.5nm (at 15kV) or 5nm (at 1kV)
5.放大倍率10倍~50萬倍（依試片本身而定）
6.二次電子解析度1.5nm(15kV)

放置地點

基楚科學館一樓 BS108

聯絡人

儀器負責人：蕭錫鍊教授 (TEL：04-23590121 ext. 32141)hlhsiao@thu.edu.tw
共同貴重儀器中心連絡人: 李春美 (TEL：04-23590121 ext. 30045 )limei@thu.edu.tw

注意事項

本機台對於檢驗樣品的限制如下：

1. 待測樣品應該具有適當、足夠的機械強度，以避免在進出電鏡、或在檢測的操作過程中，發生剝落、碎裂的狀況。

2. 低熔點的材料如:銦,錫等,會產生相變及蒸鍍效應，請勿使用。

3. 在電子束照射下會分解或釋出氣體之樣品，如有機物、高分子等，會影響真空、造成污染，請勿使用。

4. 具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料，請勿使用。

5. 未經正確處理或充分乾燥的粉末樣品，請勿使用。

收費標準

** 影像檔案儲存請自備隨身碟 **

	校內單位	校外學術單位	營利事業單位
基本操作費 (每三小時為一單元)	1500元/單元	2500元/單元	5000元/單元
樣品表面鍍膜	150元/樣品	300元/樣品	300元/樣品

收費標準概算

1. 本設備購置成本約為新台幣七百萬元整，妥善維護下約可使用十至十五年，平均攤提更新成本每年最低約為五十萬。
2. 本設備維護包括：
   a. 真空系統定期維修保養、腔內孔徑定期清理更換、重新調校等每年約需十萬元。
   b. 場發射電子槍更換，正常使用下電子槍壽命約三年，每支電子槍更換及調校約五十萬元。
   c. 樣品表面鍍金導電膜，每片金鈀約五萬元，正常使用下每片約可使用兩年。
   d. 鍍膜機氬氣、真空系統定期維護保養補充等每年約需一萬元。
3. 儀器操作人事費用每小時約為一百元。

故平均每年攤舊及基本開銷約為七十八萬元，以一年200工作天，每天六個小時計，每小時成本約為650元，一單元三個小時約為1950元。考量校內單位服務性質故訂為1500元。校外學術單位則酌收人事服務費用訂為2500元。營利事業單位則訂為5000元以彌補不足。

與國立大學或國科會貴重儀器中心比較：相同設備台大奈米中心、國科會貴重儀器中心每小時學校單位收費1000元，每次以三小時計，收費3000元。營利事業單位每小時收費2000元，每次以三小時計，收費6000元。鍍膜一次皆為600元。