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儀器介紹
 
ico你現在的位置是在東海大學 / 共同貴重儀器中心 / 儀器介紹.化工系SEM場發射電子顯微鏡

中文名稱

場發射掃描式電子顯微鏡

英文名稱

Field Emission Scanning Electron Microscope

申請表單
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儀器廠牌型號

JSM-7000F

購置年限

 2006年7月

功能

試片之顯微結構觀察及照相:
一、二次電子影像(SEI)
二、背向散射電子影像(BEI)

重要規格

解析度:1.2nm(30KV);3.0nm(1KV)。
加速電壓:0.5 to 30KV。

放置地點

化學工程系館

聯絡人

儀器負責人:李國禎教授   ( TEL:04-23590121 ext.33100~213 ) ktli@thu.edu.tw
儀器連絡人:林月華 ( TEL:04-23590121 ext.33100~121 ) lyhwa@thu.edu.tw
共同貴重儀器中心連絡人: 李春美 (TEL:04-23590121 ext. 30045 ) limei@thu.edu.tw

注意事項

  1. 試片之製作由使用者自理。
  2. 試片大小之長、寬、高不超過0.3cm為限。
  3. 樣品必須先烘乾,且在真空中無揮發性。在電子束照射下會分解或釋放氣體之樣品,因有礙必要之真空維持,恕不受理。
  4. 如為非金屬、粉體試件,請先做蒸鍍及固定處理。
  5. 本儀器拒絕受理含有毒性、腐蝕性、揮發性及低熔點等之試件。
  6. 樣品台( holder )不外借,申請者可自行購買SEM銅座,或提早前來準備黏製試片。

收費標準

項目說明

計費方式說明

營利事業

學術單位

備註

校外

校內

SEM

1200 元/時

800 元/時

600 元/時

每次申請以三小時為單位 

 

 

 

 

 

 

機台開放時段

機台開放時段:
開放時段:星期一至星期五,每天分為兩個時段:

  1. 第一操作時段  9:00am∼12:00pm
  2. 第二操作時段  2:00pm∼05:00pm

星期五下午時段因機台維護,故不開放。

  

使用規定

1.實驗室內嚴禁抽煙、不得帶入飲料和食物。
2.操作機台之前,必須詳實填寫使用記錄表,若機台發生異狀需詳實填寫狀況、初步應變措施並盡快通知管理者處理,若因延遲申報造成機台損毀,視由該使用者之責任並承擔之。
3.使用者必須遵守操作規範(如操作手則),非關正常操作機台的一切行為一概禁止
4.試片禁止使用混凝土、揮發性、油脂性,有破壞真空之試片,所有試片必須確保乾燥,避免因試片準備不當造成真空系統污染。
5.不得私自帶走本實驗室任何物品。
6.實驗完成之後,自行清理實驗桌、試片處理桌、銅柱及holder並將垃圾帶走。
7.實驗室提供影像輸出使用之光碟,不得使用個人隨身碟,避免中毒。
8.操作時犯有下列錯誤者,停權一個月:
 a. 實驗完成後,未降電壓電流。
 b. 電腦操作部分未按正確程序開關機。
 c. 未完整填寫使用紀錄簿。
 d. 於實驗室抽煙、吃東西、喝飲料。
 e. 未將試片處理桌及實驗室清理乾淨。
 f. 操作時未將使用執照掛於定點。

9.操作時犯有下列錯誤者,停權二個月:
 a. 因人為疏忽導致真空當掉。
 b. 粉末樣品未經正確處理,擅自放入chamber。
 c. 因人為疏失致使sample或holder掉入chamber中。
 d. 私自更改電腦分析條件。
 e. 使用個人隨身碟。
 f. 未經預約使用自行操作。