中文名稱 |
場發射掃描式電子顯微鏡 |
英文名稱 |
Field Emission Scanning Electron Microscope |
申請表單 |
申請表單下載 |
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儀器廠牌型號 |
JSM-7000F |
購置年限 |
2006年7月 |
功能 |
試片之顯微結構觀察及照相:
一、二次電子影像(SEI)
二、背向散射電子影像(BEI) |
重要規格 |
解析度:1.2nm(30KV);3.0nm(1KV)。
加速電壓:0.5 to 30KV。 |
放置地點 |
化學工程系館 |
聯絡人 |
儀器負責人:李國禎教授 ( TEL:04-23590121 ext.33100~213 ) ktli@thu.edu.tw
儀器連絡人:林月華 ( TEL:04-23590121 ext.33100~121 ) lyhwa@thu.edu.tw
共同貴重儀器中心連絡人: 李春美 (TEL:04-23590121 ext. 30045 ) limei@thu.edu.tw |
注意事項 |
- 試片之製作由使用者自理。
- 試片大小之長、寬、高不超過0.3cm為限。
- 樣品必須先烘乾,且在真空中無揮發性。在電子束照射下會分解或釋放氣體之樣品,因有礙必要之真空維持,恕不受理。
- 如為非金屬、粉體試件,請先做蒸鍍及固定處理。
- 本儀器拒絕受理含有毒性、腐蝕性、揮發性及低熔點等之試件。
- 樣品台( holder )不外借,申請者可自行購買SEM銅座,或提早前來準備黏製試片。
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收費標準 |
項目說明 |
計費方式說明 |
營利事業 |
學術單位 |
備註 |
校外 |
校內 |
SEM |
1200 元/時 |
800 元/時 |
600 元/時 |
每次申請以三小時為單位 |
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機台開放時段 |
機台開放時段:
開放時段:星期一至星期五,每天分為兩個時段:
- 第一操作時段 9:00am∼12:00pm
- 第二操作時段 2:00pm∼05:00pm
星期五下午時段因機台維護,故不開放。
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使用規定 |
1.實驗室內嚴禁抽煙、不得帶入飲料和食物。
2.操作機台之前,必須詳實填寫使用記錄表,若機台發生異狀需詳實填寫狀況、初步應變措施並盡快通知管理者處理,若因延遲申報造成機台損毀,視由該使用者之責任並承擔之。
3.使用者必須遵守操作規範(如操作手則),非關正常操作機台的一切行為一概禁止。
4.試片禁止使用混凝土、揮發性、油脂性,有破壞真空之試片,所有試片必須確保乾燥,避免因試片準備不當造成真空系統污染。
5.不得私自帶走本實驗室任何物品。
6.實驗完成之後,自行清理實驗桌、試片處理桌、銅柱及holder並將垃圾帶走。
7.實驗室提供影像輸出使用之光碟,不得使用個人隨身碟,避免中毒。
8.操作時犯有下列錯誤者,停權一個月:
a. 實驗完成後,未降電壓電流。
b. 電腦操作部分未按正確程序開關機。
c. 未完整填寫使用紀錄簿。
d. 於實驗室抽煙、吃東西、喝飲料。
e. 未將試片處理桌及實驗室清理乾淨。
f. 操作時未將使用執照掛於定點。
9.操作時犯有下列錯誤者,停權二個月:
a. 因人為疏忽導致真空當掉。
b. 粉末樣品未經正確處理,擅自放入chamber。
c. 因人為疏失致使sample或holder掉入chamber中。
d. 私自更改電腦分析條件。
e. 使用個人隨身碟。
f. 未經預約使用自行操作。 |